Handbook of silicon based mems materials and technologies /
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Otros Autores: | |
Formato: | Electrónico eBook |
Idioma: | Inglés |
Publicado: |
Amsterdam :
Elsevier,
2020.
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Edición: | Third edition. |
Colección: | Micro & nano technologies.
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Temas: | |
Acceso en línea: | Texto completo |
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