Handbook of silicon based mems materials and technologies /

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Tilli, Markku (Editor )
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Amsterdam : Elsevier, 2020.
Edición:Third edition.
Colección:Micro & nano technologies.
Temas:
Microelectromechanical systems.
Silicon.
Micro-Electrical-Mechanical Systems
Silicon
Microsystèmes électromécaniques.
Silicium.
silicon.
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Notas:Includes index.
Descripción Física:1 online resource
ISBN:9780128177877
012817787X

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