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Handbook of silicon based mems materials and technologies /
| Clasificación: | Libro Electrónico |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Amsterdam :
Elsevier,
2020.
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| Edición: | Third edition. |
| Colección: | Micro & nano technologies.
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| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo |