Handbook of silicon based MEMS : materials & technologies /

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Lindroos, Veikko (Editor )
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Norwich : William Andrew, 2015.
Edición:Second edition.
Colección:Micro & nano technologies.
Temas:
Microelectromechanical systems.
Microelectromechanical systems > Materials.
Silicon > Electric properties.
Micro-Electrical-Mechanical Systems
Microsystèmes électromécaniques.
Microsystèmes électromécaniques > Matériaux.
Microelectromechanical systems
Microelectromechanical systems > Materials
Silicon > Electric properties
Acceso en línea:Texto completo
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Publicado 2010
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Publicado 2010
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Publicado 2010
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