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Handbook of silicon based MEMS : materials & technologies /

Annotation

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Lindroos, Veikko (Editor )
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Norwich : William Andrew, 2015.
Edición:Second edition.
Colección:Micro & nano technologies.
Temas:
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Sumario:Annotation
Notas:Previous edition: 2009.
Descripción Física:1 online resource
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9780323312233
0323312233