Lithography for VLSI /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Einspruch, Norman G., Watts, R. K. (Roderick K.), 1939-
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Orlando : Academic Press, 1987.
Colección:VLSI electronics ; v. 16.
Temas:
Integrated circuits > Very large scale integration.
Printed circuits.
Lithography.
Circuits int�egr�es �a tr�es grande �echelle.
Circuits imprim�es.
Lithographie.
lithography.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
Acceso en línea:Texto completo
Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (xi, 361 pages) : illustrations
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9781483217826
1483217825

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