Plasma processing for VLSI /

Plasma Processing for VLSI.

Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Autres auteurs: Einspruch, Norman G., Brown, Dale M.
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: New York : Academic Press, 1984.
Collection:VLSI electronics ; v. 8.
Sujets:
Integrated circuits > Very large scale integration.
Plasma (Ionized gases) > Industrial applications.
Circuits int�egr�es �a tr�es grande �echelle.
Plasma (Gaz ionis�es) > Applications industrielles.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
Integrated circuits > Very large scale integration
Plasma (Ionized gases) > Industrial applications
Gravure par plasma.
Lithographie par rayons X.
Pulv�erisation cathodique.
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