Fine line lithography /

Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Autres auteurs: Newman, Roger
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: Amsterdam ; New York : New York : North-Holland Pub. Co. ; Sole distributor for the USA and Canada, Elsevier North-Holland, 1980.
Collection:Materials processing, theory and practices ; v. 1.
Sujets:
Integrated circuits > Large scale integration.
Lithography.
Circuits int�egr�es �a grande �echelle.
Lithographie.
lithography.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Digital.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Microelectronics.
Integrated circuits > Large scale integration
Lithography
Integrierte Schaltung
Lithographie par faisceau d'�electrons.
Lithographie par rayons X.
Photolithographie (Halbleitertechnologie)
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