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Fine line lithography /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:	Libro Electrónico
Otros Autores:	Newman, Roger
Formato:	Electrónico eBook
Idioma:	Inglés
Publicado:	Amsterdam ; New York : New York : North-Holland Pub. Co. ; Sole distributor for the USA and Canada, Elsevier North-Holland, 1980.
Colección:	Materials processing, theory and practices ; v. 1.
Temas:	Integrated circuits > Large scale integration. Lithography. Circuits int�egr�es �a grande �echelle. Lithographie. lithography. TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Digital. TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Microelectronics. Integrated circuits > Large scale integration Lithography Integrierte Schaltung Lithographie par faisceau d'�electrons. Lithographie par rayons X. Photolithographie (Halbleitertechnologie)
Acceso en línea:	Texto completo Texto completo

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