Fine line lithography /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Newman, Roger
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Amsterdam ; New York : New York : North-Holland Pub. Co. ; Sole distributor for the USA and Canada, Elsevier North-Holland, 1980.
Colección:Materials processing, theory and practices ; v. 1.
Temas:
Integrated circuits > Large scale integration.
Lithography.
Circuits int�egr�es �a grande �echelle.
Lithographie.
lithography.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Digital.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Microelectronics.
Integrated circuits > Large scale integration
Lithography
Integrierte Schaltung
Lithographie par faisceau d'�electrons.
Lithographie par rayons X.
Photolithographie (Halbleitertechnologie)
Acceso en línea:Texto completo
Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (vii, 481 pages)
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9780444853516
0444853510
9780444601285
0444601287
1299537200
9781299537200

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