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Computational lithography
| Cote: | Libro Electrónico |
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| Auteur principal: | |
| Autres auteurs: | |
| Format: | Électronique eBook |
| Langue: | Inglés |
| Publié: |
Oxford :
Wiley-Blackwell,
2010.
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| Collection: | Wiley series in pure and applied optics.
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Texto completo |
| Description matérielle: | xv, 226 p. : ill. |
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| Bibliographie: | Includes bibliographical references and index. |