Thin film chemical vapor deposition in electronics : equipment, methodology, and thin film growth experience /

Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Auteur principal: Vasilʹev, V. I͡U. (Vladislav I͡Urʹevich) (Auteur)
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: New York : Nova Publishers, [2014]
Collection:Materials science and technologies series.
Sujets:
Thin film devices.
Integrated circuits > Design and construction.
Chemical vapor deposition.
Dispositifs à couches minces.
Circuits intégrés > Conception et construction.
Dépôt chimique en phase vapeur.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
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Internet

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