Lithography : principles, processes and materials /

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Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Autres auteurs: Hennessy, Theodore C.
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: New York : Nova Science, c2011.
Collection:Engineering tools, techniques and tables.
Nanotechnology science and technology series.
Sujets:
Microlithography.
Microfabrication.
Microlithographie.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Circuits > General.
Microfabrication
Microlithography
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