Lithography : principles, processes and materials /

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Hennessy, Theodore C.
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: New York : Nova Science, c2011.
Colección:Engineering tools, techniques and tables.
Nanotechnology science and technology series.
Temas:
Microlithography.
Microfabrication.
Microlithographie.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Circuits > General.
Microfabrication
Microlithography
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