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Modellierung und Simulation Nichtlinearer Effekte in Kapazitiv Gekoppelten Hochfrequenzplasmen.
Annotation
| Cote: | Libro Electrónico |
|---|---|
| Auteur principal: | |
| Format: | Électronique eBook |
| Langue: | Alemán |
| Publié: |
Berlin :
Logos Verlag Berlin,
2010.
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| Sujets: | |
| Accès en ligne: | Texto completo |