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Physics and Technology of Crystalline Oxide Semiconductor CAAC-IGZO : Application to LSI /

Describes the application of c-axis aligned crystalline In-Ga-Zn oxide (CAAC-IGZO) technology in large-scale integration (LSI) circuits.

Detalles Bibliográficos
Clasificación:	Libro Electrónico
Otros Autores:	Yamazaki, Shunpei (Editor ), Fujita, Masahiro
Formato:	Electrónico eBook
Idioma:	Inglés
Publicado:	Somerset : Wiley, 2016.
Temas:	Semiconductors > Materials. Semiconductors > Characterization. Gallium compounds. Zinc compounds. Oxides. Integrated circuits > Large scale integration > Materials. Zinc Compounds Oxides Semi-conducteurs > Matériaux. Semi-conducteurs > Caractérisation. Gallium > Composés. Zinc > Composés. Oxydes. Circuits intégrés à grande échelle > Matériaux. TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical. Gallium compounds Semiconductors > Characterization Semiconductors > Materials Zinc compounds
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