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Silicon Technologies : Ion Implantation and Thermal Treatment.
The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.
| Clasificación: | Libro Electrónico |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
London :
Wiley,
2013.
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| Colección: | ISTE.
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| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo |