Ultra clean processing of semiconductor surfaces XV selected peer-reviewed full text papers from the 15th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS) : selected peer-reviewed full text papers from the 15th International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces (UCPSS), April 12-15, 2021, Mechelen, Belgium.

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor Corporativo: International Symposium on Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces Mechelen, Belgium
Otros Autores: Mertens, Paul, Wostyn, Kurt, Meuris, Marc, Heyns, Marc
Formato: Electrónico Congresos, conferencias eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Baech, Switzerland : Scientific.Net : distributed worldwide by Trans Tech Publications Ltd, [2021]
Colección:Solid state phenomena, volume 314.
Temas:
Semiconductors > Surfaces > Congresses.
Semiconductors > Congresses.
Semi-conducteurs > Surfaces > Congrès.
Semi-conducteurs > Congrès.
Semiconductors
Semiconductors > Surfaces
Conference papers and proceedings
Acceso en línea:Texto completo

Internet

Texto completo

Items no disponibles

Detalle de Existencias desde

Ejemplares similares