Diseño y caracterización de un sistema de pulverización catódica DC para la deposición de películas delgadas de tierras raras y metales de transición Design and characterization of a DC sputtering system for deposition of thin fi lms of rare earth and transition metals /
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Autor Corporativo: | |
Otros Autores: | |
Formato: | Artículo |
Idioma: | Español |
Publicado: |
[Tolima] :
[Universidad Del Tolima],
[2009]
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Temas: | |
Acceso en línea: | Texto completo |