Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Autor principal: | |
Autor Corporativo: | |
Formato: | Artículo |
Idioma: | Español |
Publicado: |
[Monterrey, N.L.] :
Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica,
2008.
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Temas: | |
Acceso en línea: | Texto completo |
Publicado: | Vol. XI, Num. 3 (Julio-Sep. 2008)- |
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Descripción Física: | 264-271 p. |
Frecuencia de Publicación: | Trimestral |
ISSN: | 1405-9177 |