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Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica
| Clasificación: | Libro Electrónico |
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| Autor principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Formato: | Artículo |
| Idioma: | Español |
| Publicado: |
[Monterrey, N.L.] :
Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica,
2008.
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| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo |