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Lithography /

Lithography is now a complex tool at the heart of a technological process for manufacturing micro and nanocomponents. A multidisciplinary technology, lithography continues to push the limits of optics, chemistry, mechanics, micro and nano-fluids, etc. This book deals with essential technologies and...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Landis, Stefan
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: London : Wiley, 2013.
Colección:ISTE.
Temas:
Acceso en línea:Texto completo