Advanced Mechatronics and MEMS Devices
Advanced Mechatronics and MEMS Devicesdescribes state-of-the-art MEMS devices and introduces the latest technology in electrical and mechanical microsystems. The evolution of design in microfabrication, as well as emerging issues in nanomaterials, micromachining, micromanufacturing and microassembly...
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Autor Corporativo: | |
Otros Autores: | |
Formato: | Electrónico eBook |
Idioma: | Inglés |
Publicado: |
New York, NY :
Springer New York : Imprint: Springer,
2013.
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Edición: | 1st ed. 2013. |
Colección: | Microsystems ;
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Temas: | |
Acceso en línea: | Texto Completo |