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MEMS Materials and Processes Handbook
MEMS Materials and Processes Handbook is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on 'Materials' and 'Processes'. The...
| Clasificación: | Libro Electrónico |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Otros Autores: | , |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
New York, NY :
Springer US : Imprint: Springer,
2011.
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| Edición: | 1st ed. 2011. |
| Colección: | MEMS Reference Shelf,
1 |
| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto Completo |