Handbook of silicon based mems materials and technologies /

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Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Autres auteurs: Tilli, Markku (Éditeur intellectuel)
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: Amsterdam : Elsevier, 2020.
Édition:Third edition.
Collection:Micro & nano technologies.
Sujets:
Microelectromechanical systems.
Silicon.
Micro-Electrical-Mechanical Systems
Silicon
Microsyst�emes �electrom�ecaniques.
Silicium.
silicon.
Microelectromechanical systems
Accès en ligne:Texto completo
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