Nano-CMOS gate dielectric engineering /

Nano-CMOS Gate Dielectric Engineering.

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Wong, Hei
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Boca Raton, FL : CRC Press, ©2012.
Temas:
Metal oxide semiconductors, Complementary > Design and construction.
Dielectrics.
Gate array circuits.
Nanoelectronics > Materials.
Circuits prédiffusés.
Nanoélectronique > Matériaux.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
Acceso en línea:Texto completo (Requiere registro previo con correo institucional)
Tabla de Contenidos:
  • 1. Overview of CMOS technology
  • 2. High-k dielectrics
  • 3. Complex forms of high-k oxides
  • 4. Dielectric interfaces
  • 5. Impacts on device operation
  • 6. Fabrication issues
  • 7. Conclusions.

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