Mertens, P. W., Wostyn, K., Meuris, M., & Heyns, M. (2021). Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV. Trans Tech Publications, Limited.
Style de citation Chicago (17e éd.)Mertens, Paul W., Kurt Wostyn, Marc Meuris, et Marc Heyns. Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV. Zurich: Trans Tech Publications, Limited, 2021.
Style de citation MLA (8e éd.)Mertens, Paul W., et al. Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XV. Trans Tech Publications, Limited, 2021.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.