Lin, B. J. (2010). Optical lithography: Here is why. SPIE.
Style de citation Chicago (17e éd.)Lin, Burn Jeng. Optical Lithography: Here Is Why. Bellingham, Wash.: SPIE, 2010.
Style de citation MLA (8e éd.)Lin, Burn Jeng. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE, 2010.
Attention : ces citations peuvent ne pas être correctes à 100%.