Handbook of ion beam processing technology : principles, deposition, film modification, and synthesis /

Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Autres auteurs: Cuomo, J. J., Rossnagel, Stephen M., Kaufman, Harold R.
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: Westwood, N.J. : Noyes Publications, ©1989.
Édition:Reprint ed.
Sujets:
Ion implantation.
Ion bombardment > Industrial applications.
Ions > Implantation.
Bombardement ionique > Applications industrielles.
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