APA (7th ed.) Citation

Zilbauer, T. (2010). Atomlagenabscheidung von Hafniumoxid. Cuvillier Verlag.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Zilbauer, Thomas. Atomlagenabscheidung Von Hafniumoxid. Göttingen: Cuvillier Verlag, 2010.

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Zilbauer, Thomas. Atomlagenabscheidung Von Hafniumoxid. Cuvillier Verlag, 2010.