Beam Technologies for Integrated Processing.

Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Auteur principal: Staff, National Research Council
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: Washington : National Academies Press, 1900.
Sujets:
Microelectronics industry.
Molecular beams > Industrial applications.
Microelectronics > Materials.
Plasma-enhanced chemical vapor deposition > Industrial applications.
Microélectronique > Industrie.
Faisceaux moléculaires > Applications industrielles.
Microélectronique > Matériaux.
Dépôt chimique en phase vapeur activé par plasma > Applications industrielles.
Microelectronics industry
Microelectronics > Materials
Molecular beams > Industrial applications
Plasma-enhanced chemical vapor deposition > Industrial applications
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