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Microelectronic Test Structures for CMOS Technology

Microelectronic Test Structures for CMOS Technology and Products addresses the basic concepts of the design of test structures for incorporation within test-vehicles, scribe-lines, and CMOS products. The role of test structures in the development and monitoring of CMOS technologies and products has...

Description complète

Détails bibliographiques
Cote:Libro Electrónico
Auteurs principaux: Bhushan, Manjul (Auteur), Ketchen, Mark B. (Auteur)
Collectivité auteur: SpringerLink (Online service)
Format: Électronique eBook
Langue:Inglés
Publié: New York, NY : Springer New York : Imprint: Springer, 2011.
Édition:1st ed. 2011.
Sujets:
Accès en ligne:Texto Completo