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Materials and Processes for Next Generation Lithography.
| Clasificación: | Libro Electrónico |
|---|---|
| Otros Autores: | , |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Amsterdam, Netherlands :
Elsevier,
2016.
|
| Colección: | Frontiers of nanoscience ;
v. 11. |
| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo Texto completo |
| Descripción Física: | 1 online resource |
|---|---|
| ISBN: | 9780081003589 0081003587 |
| ISSN: | 1876-2778 ; |