Plasma sources for thin film deposition and etching /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Francombe, Maurice H. (Editor ), Vossen, John L. (Editor )
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: San Diego, CA. : Academic Press, 1994.
Colección:Physics of thin films ; volume 18.
Temas:
Thin films.
Couches minces.
Thin films
D�unne Schicht
Herstellung
Plasmaanlage
�Atzen
Projection au plasma.
Technique des plasmas.
Congress
proceedings (reports)
Conference papers and proceedings
Conference papers and proceedings.
Actes de congr�es.
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (xiii, 397 pages) : illustrations
Bibliografía:Includes bibliographical references and indexes.
ISBN:9780080925134
0080925138

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