VLSI metallization /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Einspruch, Norman G., Cohen, Simon S., Gildenblat, Gennady Sh
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Orlando : Academic Press, 1987.
Colección:VLSI electronics ; v. 15.
Temas:
Integrated circuits > Very large scale integration > Design and construction.
Metallic films.
Metallizing.
Couches minces m�etalliques.
M�etallisation.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
Acceso en línea:Texto completo
Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (x, 480 pages) : illustrations
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9781483217819
1483217817

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