Electron-beam technology in microelectronic fabrication /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Brewer, George Raymond, 1922-, Ballantyne, J. P.
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: New York : Academic Press, 1980.
Temas:
Microelectronics.
Lithography, Electron beam.
Miniaturization
Micro�electronique.
Lithographie par faisceau d'�electrons.
microelectronics.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Digital.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Microelectronics.
Lithography, Electron beam
Microelectronics
Elektronenstrahllithografie
Mikroelektronik
Acceso en línea:Texto completo

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