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Nano-lithography /

Lithography is an extremely complex tool - based on the concept of "imprinting" an original template version onto mass output - originally using relatively simple optical exposure, masking, and etching techniques, and now extended to include exposure to X-rays, high energy UV light, and el...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Otros Autores: Landis, Stefan
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Francés
Publicado: London : Hoboken, N.J. : ISTE ; Wiley, 2011.
Temas:
Acceso en línea:Texto completo (Requiere registro previo con correo institucional)

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