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Silicon technologies : ion implantation and thermal treatment /
The main purpose of this book is to remind new engineers in silicon foundry, the fundamental physical and chemical rules in major Front end treatments: oxidation, epitaxy, ion implantation and impurities diffusion.
| Clasificación: | Libro Electrónico |
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| Otros Autores: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
London : Hoboken, NJ :
ISTE ; Wiley,
2011.
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| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo (Requiere registro previo con correo institucional) |