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Frontiers of Nanoscience - Materials and Processes for Next Generation Lithography Volume 11 /
| Clasificación: | Libro Electrónico |
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| Autor principal: | |
| Otros Autores: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
[Place of publication not identified]
Elsevier,
2016.
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| Acceso en línea: | Texto completo |
| Notas: | Title from content provider. |
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| Descripción Física: | 1 online resource |
| ISBN: | 9780081003589 0081003587 |