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Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications /
| Clasificación: | Libro Electrónico |
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| Autor principal: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Inglés |
| Publicado: |
Hoboken, NJ :
John Wiley & Sons,
c2013.
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| Edición: | 2nd ed. |
| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo |