Atomic layer deposition principles, characteristics, and nanotechnology applications /

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Kaariainen, Tommi
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, c2013.
Edición:2nd ed.
Temas:
Chemical vapor deposition.
Epitaxy.
Microelectronics.
Nanotechnology.
Electronic books.
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:xv, 253 p. : ill.
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9781118747421 (electronic bk.)

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