Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. from MEMS to bio-MEMS and bio-NEMS : manufacturing techniques and applications / Volume III :

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Madou, Marc J. (Autor)
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Boca Raton, Florida ; London, [England] ; New York : CRC Press, 2011.
Edición:Third edition.
Temas:
Microelectromechanical systems.
Nanoelectromechanical systems.
Microfluidics.
Solid state physics.
Electronic books.
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (642 pages) : illustrations (some color), tables
Bibliografía:Includes bibliographical references at the end of each chapters.
ISBN:9781439895245 (e-book)

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