Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIII.
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Autor principal: | |
Otros Autores: | , |
Formato: | Electrónico eBook |
Idioma: | Inglés |
Publicado: |
Zurich :
Trans Tech Publications,
2016.
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Colección: | Solid State Phenomena Vol. 255.
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Temas: | |
Acceso en línea: | Texto completo |
Descripción Física: | 1 online resource (395 pages) |
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Bibliografía: | Includes bibliographical references at the end of each chapters and index. |
ISBN: | 9783035730845 3035730849 |