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Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XIII.

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Mertens, Paul W.
Otros Autores: Meuris, Marc, Heyns, Marc
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Zurich : Trans Tech Publications, 2016.
Colección:Solid State Phenomena Vol. 255.
Temas:
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (395 pages)
Bibliografía:Includes bibliographical references at the end of each chapters and index.
ISBN:9783035730845
3035730849