Thin film chemical vapor deposition in electronics : equipment, methodology, and thin film growth experience /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Vasilʹev, V. I͡U. (Vladislav I͡Urʹevich) (Autor)
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: New York : Nova Publishers, [2014]
Colección:Materials science and technologies series.
Temas:
Thin film devices.
Integrated circuits > Design and construction.
Chemical vapor deposition.
Dispositifs à couches minces.
Circuits intégrés > Conception et construction.
Dépôt chimique en phase vapeur.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Mechanical.
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:9781633211865
163321186X

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