Gettering and defect engineering in semiconductor technology XV : selected papers from the 15th Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Conference, September 22-27, 2013, Oxford, UK /
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Autor Corporativo: | |
Otros Autores: | |
Formato: | Electrónico Congresos, conferencias eBook |
Idioma: | Inglés |
Publicado: |
Durnten-Zurich :
Trans Tech publications Ltd,
[2014]
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Colección: | Diffusion and defect data. Solid state phenomena ;
v. 205/206. |
Temas: | |
Acceso en línea: | Texto completo |
Descripción Física: | 1 online resource (xiv, 516 pages) : illustrations (black and white |
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Bibliografía: | Includes bibliographical references and index. |
ISBN: | 3038262056 9783038262053 |
ISSN: | 1012-0394 ; |