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Gettering and defect engineering in semiconductor technology XV : selected papers from the 15th Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Conference, September 22-27, 2013, Oxford, UK /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor Corporativo: Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Conference Oxford, Great Britain
Otros Autores: Murphy, J. D. (Editor )
Formato: Electrónico Congresos, conferencias eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Durnten-Zurich : Trans Tech publications Ltd, [2014]
Colección:Diffusion and defect data. Solid state phenomena ; v. 205/206.
Temas:
Acceso en línea:Texto completo
Descripción
Descripción Física:1 online resource (xiv, 516 pages) : illustrations (black and white
Bibliografía:Includes bibliographical references and index.
ISBN:3038262056
9783038262053
ISSN:1012-0394 ;