Descripción
Notas:Translation of: Tonkie sloi borofosforosilikatnogo stekla v tekhnologii kremnievoĭ mikroėlektroniki.
Descripción Física:1 online resource.
Bibliografía:Includes bibliographical references (pages 221-234) and index.
ISBN:9781624179594
1624179592
1626180342
9781626180345