Borophosphosilicate glass thin films in electronics /
Clasificación: | Libro Electrónico |
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Autor principal: | |
Formato: | Electrónico eBook |
Idioma: | Inglés Ruso |
Publicado: |
New York :
Nova Science Publishers,
[2013]
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Colección: | Materials science and technologies series.
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Temas: | |
Acceso en línea: | Texto completo |
Notas: | Translation of: Tonkie sloi borofosforosilikatnogo stekla v tekhnologii kremnievoĭ mikroėlektroniki. |
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Descripción Física: | 1 online resource. |
Bibliografía: | Includes bibliographical references (pages 221-234) and index. |
ISBN: | 9781624179594 1624179592 1626180342 9781626180345 |