Microelectromechanical systems : advanced materials and fabrication methods /

Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autores Corporativos: National Research Council (U.S.). Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems, National Research Council (U.S.). National Materials Advisory Board, National Research Council (U.S.). Commission on Engineering and Technical Systems
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Inglés
Publicado: Washington, DC : National Academy Press, 1997.
Temas:
Microelectronics > Materials.
Microelectromechanical systems > Design and construction.
Microélectronique > Matériaux.
Microsystèmes électromécaniques > Conception et construction.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Microelectronics.
TECHNOLOGY & ENGINEERING > Electronics > Digital.
Microelectromechanical systems > Design and construction
Microelectronics > Materials
Andre fag (naturvidenskab og teknik) > Andre fag
Acceso en línea:Texto completo

MARC

LEADER 00000cam a2200000 a 4500
001 EBSCO_ocm53011051
003 OCoLC
005 20231017213018.0
006 m o d
007 cr bn|||||||||
008 030911s1997 dcua ob 000 0 eng c
040 |a BUF  |b eng  |e pn  |c BUF  |d OCLCQ  |d N$T  |d MUQ  |d YDXCP  |d COF  |d WVH  |d TUU  |d TNF  |d ORU  |d REDDC  |d CDN  |d CAI  |d DKDLA  |d QT5  |d MERUC  |d CCO  |d E7B  |d IDEBK  |d CUS  |d FVL  |d SINTU  |d OCLCQ  |d ORU  |d GRPVE  |d OCLCQ  |d ZCU  |d OCLCF  |d OCLCQ  |d UV0  |d OCLCQ  |d AZK  |d MWM  |d AGLDB  |d SUR  |d MOR  |d PIFBR  |d OCLCQ  |d SAV  |d OCLCQ  |d U3W  |d BUF  |d LUE  |d STF  |d WRM  |d OCLCQ  |d VTS  |d COCUF  |d NRAMU  |d EZ9  |d INT  |d TOF  |d AU@  |d OCLCQ  |d WYU  |d LVT  |d JZ6  |d XMC  |d OCLCQ  |d UKAHL  |d VDB  |d K6U  |d UKCRE  |d AJS  |d OCLCO  |d OCLCQ  |d OCLCO 
019 |a 42328536  |a 70738192  |a 74405585  |a 276801906  |a 473715145  |a 475469555  |a 532293698  |a 551728618  |a 559259788  |a 647354917  |a 666925491  |a 722243591  |a 728016988  |a 733800993  |a 888492494  |a 961574661  |a 961615558  |a 962637831  |a 962690027  |a 970723315  |a 984887407  |a 988515744  |a 992022018  |a 1037940613  |a 1038563470  |a 1045502533  |a 1047527465  |a 1053010430  |a 1105739173  |a 1123223402  |a 1127944944  |a 1135457476  |a 1153533432  |a 1197022197 
020 |a 0309059801  |q (Online version) 
020 |a 9780309059800  |q (Online version) 
020 |a 0585002509  |q (electronic bk.) 
020 |a 9780585002507  |q (electronic bk.) 
020 |a 9786610187096 
020 |a 6610187096 
020 |z 0309058856  |q (print) 
020 |z 9780309058858  |q (print) 
020 |z 0309058956 
029 1 |a AU@  |b 000023265530 
029 1 |a AU@  |b 000053229021 
029 1 |a DEBBG  |b BV043134139 
029 1 |a DEBSZ  |b 422615978 
029 1 |a GBVCP  |b 80106631X 
029 1 |a NZ1  |b 11942802 
029 1 |a NZ1  |b 16066866 
035 |a (OCoLC)53011051  |z (OCoLC)42328536  |z (OCoLC)70738192  |z (OCoLC)74405585  |z (OCoLC)276801906  |z (OCoLC)473715145  |z (OCoLC)475469555  |z (OCoLC)532293698  |z (OCoLC)551728618  |z (OCoLC)559259788  |z (OCoLC)647354917  |z (OCoLC)666925491  |z (OCoLC)722243591  |z (OCoLC)728016988  |z (OCoLC)733800993  |z (OCoLC)888492494  |z (OCoLC)961574661  |z (OCoLC)961615558  |z (OCoLC)962637831  |z (OCoLC)962690027  |z (OCoLC)970723315  |z (OCoLC)984887407  |z (OCoLC)988515744  |z (OCoLC)992022018  |z (OCoLC)1037940613  |z (OCoLC)1038563470  |z (OCoLC)1045502533  |z (OCoLC)1047527465  |z (OCoLC)1053010430  |z (OCoLC)1105739173  |z (OCoLC)1123223402  |z (OCoLC)1127944944  |z (OCoLC)1135457476  |z (OCoLC)1153533432  |z (OCoLC)1197022197 
042 |a pcc 
050 4 |a TK7874 
072 7 |a TEC  |x 008070  |2 bisacsh 
072 7 |a TEC  |x 008060  |2 bisacsh 
082 0 4 |a 621.381  |2 21 
049 |a UAMI 
245 0 0 |a Microelectromechanical systems :  |b advanced materials and fabrication methods /  |c Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems, National Materials Advisory Board, Commission on Engineering and Technical Systems, National Research Council. 
260 |a Washington, DC :  |b National Academy Press,  |c 1997. 
300 |a 1 online resource (xiv, 61 pages) :  |b illustrations 
336 |a text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a computer  |b c  |2 rdamedia 
338 |a online resource  |b cr  |2 rdacarrier 
347 |a data file 
504 |a Includes bibliographical references (pages 51-55). 
588 0 |a Print version record. 
590 |a eBooks on EBSCOhost  |b EBSCO eBook Subscription Academic Collection - Worldwide 
650 0 |a Microelectronics  |x Materials. 
650 0 |a Microelectromechanical systems  |x Design and construction. 
650 6 |a Microélectronique  |x Matériaux. 
650 6 |a Microsystèmes électromécaniques  |x Conception et construction. 
650 7 |a TECHNOLOGY & ENGINEERING  |x Electronics  |x Microelectronics.  |2 bisacsh 
650 7 |a TECHNOLOGY & ENGINEERING  |x Electronics  |x Digital.  |2 bisacsh 
650 7 |a Microelectromechanical systems  |x Design and construction  |2 fast 
650 7 |a Microelectronics  |x Materials  |2 fast 
653 |a Andre fag (naturvidenskab og teknik)  |a Andre fag 
710 2 |a National Research Council (U.S.).  |b Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems. 
710 2 |a National Research Council (U.S.).  |b National Materials Advisory Board. 
710 2 |a National Research Council (U.S.).  |b Commission on Engineering and Technical Systems. 
776 0 8 |i Print version:  |t Microelectromechanical systems.  |d Washington, DC : National Academy Press, 1997  |z 0309058856  |w (DLC) 97080865  |w (OCoLC)38297267 
856 4 0 |u https://ebsco.uam.elogim.com/login.aspx?direct=true&scope=site&db=nlebk&AN=1507  |z Texto completo 
938 |a Askews and Holts Library Services  |b ASKH  |n AH36567358 
938 |a Askews and Holts Library Services  |b ASKH  |n AH36616323 
938 |a ebrary  |b EBRY  |n ebr10055038 
938 |a EBSCOhost  |b EBSC  |n 1507 
938 |a ProQuest MyiLibrary Digital eBook Collection  |b IDEB  |n 18709 
938 |a YBP Library Services  |b YANK  |n 2302224 
938 |a YBP Library Services  |b YANK  |n 6012845 
994 |a 92  |b IZTAP 

Ejemplares similares