Analyse und Optimierung der Multipolresonanzsonde Als Industrietaugliches Plasmadiagnostiksystem.

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Lapke, Martin
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Alemán
Publicado: Berlin : Logos Verlag Berlin, 2011.
Temas:
Plasma diagnostics.
Diagnostics de plasma.
Plasma diagnostics
Acceso en línea:Texto completo

MARC

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505 0 |a Intro; 1 Einleitung; 1.1 Industriekompatible Plasmadiagnostik; 1.2 Plasmaresonanzspektroskopie; 1.3 BMBF-Projekt -- PluTO; 1.4 Ziel der Arbeit; 2 Mathematische Beschreibung von Plasmen; 2.1 Kinetische Beschreibung; 2.2 Fluiddynamische Beschreibung; 2.3 Beschreibung hochfrequenter Effekte in technischen Plasmen; 2.4 StÃœÃ#x9F;e in technischen Plasmen; 2.5 Kopplung der Plasmabeschreibung an die Maxwellgleichungen; 2.6 Plasmabeschreibung unter Annahme der elektrostatischen Approximation; 2.7 Zeitharmonische Beschreibung; 3 Entwicklung eines Modells aktiver Plasmaresonanzspektroskopie. 
505 8 |a 3.1 Mathematischer Formalismus am Beispiel eines RCLSchwingkreises3.2 Beschreibung der Diagnostik auf Basis funktionalanalytischer Methoden; 4 Modellierung und Simulation der Plasmaabsorptionssonde; 5 Analyse und Optimierung der Multipolresonanzsonde; 5.1 Entwicklung eines analytischen Modells; 5.2 Einfluss der Plasmaparameter auf das Resonanzverhalten; 5.3 Verifikation der Idealisierungen; 5.4 Vergleich der MRP mit elektromagnetischen Methoden; 5.5 Untersuchung der Randschicht; 6 Realisierung eines MRP-Prototyps; 7 Zusammenfassung, Ausblick; 7.1 Zusammenfassung; 7.2 Ausblick. 
520 8 |a Annotation  |b Die Uberwachung und zielgerichtete Beeinflussung technischer Plasmen erfordert die messtechnische Bestimmung ihrer inneren Zustandsgrossen, vor allem der Elektronendichte und der mittleren Elektronenenergie. Der Begriff Plasmadiagnostik umfasst alle Einrichtungen und Verfahren, die fur eine solche Messung der Zustandsgrossen eines Plasmas herangezogen werden konnen. Von den bekannten Methoden sind jedoch nur wenige fur den Einsatz in einem industriellen Umfeld geeignet. In dieser Arbeit wurde ein spezielles Konzept untersucht, das auf der universalen Eigenschaft aller Niederdruckplasmen beruht, bei Anregung mit einem Hochfrequenzsignal in der Nahe der Elektronenplasmafrequenz in Resonanz zu geraten. Eine abstrakte Analyse dieser sogenannten plasmaresonanzspektroskopischen Diagnostikmethoden zeigt, dass ein hochstmogliches Mass an Symmetrie zum einen ein lokales Messen ermoglicht und zum anderen eine analytische Beschreibung des Resonanzspektrums erlaubt. Die Multipol Resonanz Sonde (MRP) wird als innovative, optimale Realisierung des skizzierten Grundkonzeptes der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie beschrieben und detailiiert untersucht. 
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