Modellierung und Analyse Aktiver Plasmaresonanzspektroskopie Mit Funktionalanalytischen Methoden.

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Oberrath, Jens
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Alemán
Publicado: Berlin : Logos Verlag Berlin, 2014.
Temas:
Plasma diagnostics.
Diagnostics de plasma.
Plasma diagnostics
Acceso en línea:Texto completo

MARC

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505 0 |a Intro; 1 Einleitung; 1.1 Aktive Plasmaresonanzspektroskopie; 1.2 Verschiedene Bauformen; 1.2.1 Die Impedanzsonde; 1.2.2 Die Multipol-Resonanz-Sonde; 1.3 Ziel dieser Arbeit; 2 Mathematische Beschreibung von Plasmen; 2.1 Kinetische Theorie; 2.1.1 Boltzmann-StoÃ#x9F;term; 2.1.2 Elastischer StoÃ#x9F;term; 2.2 Fluiddynamik; 2.2.1 Das kalte Plasmamodell; 2.2.2 Hochfrequente PlasmaphÃÞnomene; 2.3 Konsistente Kopplung der Plasmabeschreibung an elektromagnetische Felder; 2.4 Die elektrostatische NÃÞherung; 3 Abstraktes fluiddynamisches Modell der aktiven Resonanzspektroskopie. 
505 8 |a 3.1 Abstraktes Modell der aktiven Resonanzspektroskopie3.2 Zustandsraumbeschreibung der Dynamik; 3.3 Physikalische Interpretation der allgemeinen LÃœsung; 3.4 Geometrische Spezifikation der Sonde; 3.5 Berechnung der EigenzustÃÞnde des konservativen Operators; 3.6 Skalarprodukt und Norm im kugelgeometrischen System; 3.7 Berechnung eines allgemeinen Anregungszustandes; 3.8 Koppeladmittanzen kugelgeometrischer Sonden; 3.9 Resonanzverhalten der Impedanzsonde; 3.10 Resonanzverhalten der Multipol-Resonanz-Sonde; 3.11 Fazit zur fluiddynamischen Beschreibung. 
505 8 |a 4 Abstraktes kinetisches Modell der aktiven Resonanzspektroskopie4.1 Abstraktes Modell der aktiven Resonanzspektroskopie; 4.2 Bilanzgleichungen der kinetischen Gleichung; 4.2.1 Teilchenbilanz und Bilanz der kinetischen Energie; 4.2.2 Strombilanz und Bilanzgleichung der totalen Energie; 4.2.3 Bilanzgleichung der kinetischen Entropie; 4.3 Kinetische freie Energie; 4.4 Linearisierte kinetische Beschreibung; 4.5 Beschreibung der kinetischen Dynamik im Zustandsraum; 4.6 Funktionalanalytische Beschreibung und physikalische Interpretation; 4.6.1 Formulierung eines Hilbert-Raumes. 
505 8 |a 4.6.2 Eigenschaften des StoÃ#x9F;operators4.6.3 Eigenschaften des Vlasov-Operators; 4.6.4 Physikalische Interpretation; 5 Kinetische Analyse spezifischer Sondenbauformen; 5.1 Geometrische Spezifikation der Sonde und Normierung; 5.2 Koordinatentransformation des Phasenraums auf sphÃÞrische kinetische Koordinaten; 5.3 VOGS in den Winkeln der sphÃÞrischen kinetischen Koordinaten; 5.4 Entwicklung in eine orthogonale Basis; 5.5 Kinetische Analyse einer Parallelelektrodensonde; 5.5.1 Die Basismatrix zur Parallelelektrodensonde; 5.5.2 Matrizen des Vlasov- und StoÃ#x9F;operators zur Parallelelektrodensonde. 
505 8 |a 5.5.3 Der Anregungsvektor zur Parallelelektrodensonde5.5.4 Resonanzverhalten der Parallelelektrodensonde; 5.6 Kinetische Analyse der Impedanzsonde; 5.6.1 Die Basismatrix zur Impedanzsonde; 5.6.2 Matrizen des Vlasov- und StoÃ#x9F;operators zur Impedanzsonde; 5.6.3 Der Anregungsvektor zur Impedanzsonde; 5.6.4 Resonanzverhalten der Impedanzsonde; 5.7 Kinetische Analyse der Multipol-Resonanz-Sonde; 5.7.1 Die Basismatrix zur Multipol-Resonanz-Sonde; 5.7.2 Matrizen des Vlasov- und StoÃ#x9F;operators zur Multipol-Resonanz-Sonde; 5.7.3 Der Anregungsvektor zur Multipol-Resonanz-Sonde. 
500 |a 5.7.4 Resonanzverhalten der Multipol-Resonanz-Sonde. 
520 8 |a Annotation  |b Aktive Plasmaresonanzspektroskopie ist eine Methode zur Plasmadiagnostik, bei der mit Hilfe einer in das Plasma eingefuhrten Sonde selbiges hochfrequent gestort und die resultierende Systemantwort gemessen wird. Resonanzen des daruber ermittelten Spektrums beinhalten Informationen uber Plasmaparameter wie Elektronendichte und -temperatur, fur deren Auswertung ein gutes Modell notwendig ist, das einen moglichst einfachen Zusammenhang zwischen Resonanzen und Plasmaparametern aufzeigt. Zwei mogliche Bauformen dieser Diagnostikmethode sind die Impedanz- und die Multipol-Resonanz-Sonde, die in dieser Arbeit im Fokus stehen. Mit Hilfe funktionalanalytischer Methoden wird erst ein allgemeines fluiddynamisches Modell der aktiven Plasmaresonanzspektroskopie untersucht und dann exemplarisch fur die erwahnten Bauformen gelost. Die Lage der Resonanzfrequenzen und damit die Elektronendichte kann mit dem fluiddynamischen Modell gut vorhergesagt werden, aber die zugehorigen Halbwertsbreiten zeigen bei geringem Druck eine signifikante Diskrepanz zu gemessenen. Zur Untersuchung dieser Resonanzverbreiterung wird im zweiten Teil der Arbeit ein allgemeines kinetisches Modell hergeleitet, mit Hilfe der Funktionalanalysis analysiert und im Anschluss fur die speziellen Bauformen gelost. Es wird gezeigt, dass die Resonanzverbreiterung als eine Art kinetische Dampfung angesehen werden kann und mit dem kinetischen Modell bestimmbar ist. Dies ermoglicht die zusatzliche Messung der Elektronentemperatur und daruber hinaus die Bestimmung einer genaherten Verteilungsfunktion der Elektronen. Das macht die aktive Plasmaresonanzspektroskopie zu einem ausgezeichneten Kandidaten fur eine industriekompatible Diagnostikmethode in Niederdruckplasmen. 
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