Modellierung und Simulation Nichtlinearer Effekte in Kapazitiv Gekoppelten Hochfrequenzplasmen.

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Detalles Bibliográficos
Clasificación:Libro Electrónico
Autor principal: Ziegler, Dennis
Formato: Electrónico eBook
Idioma:Alemán
Publicado: Berlin : Logos Verlag Berlin, 2010.
Temas:
Nonlinear mechanics.
Mécanique non linéaire.
Nonlinear mechanics
Acceso en línea:Texto completo
Tabla de Contenidos:
  • Intro; 1 Einleitung; 1.1 EinfÃơhrung; 1.2 Zielsetzung der Arbeit; 2 Modellierung technischer Plasmen; 2.1 Kinetische Beschreibung; 2.2 Fluiddynamische Beschreibung; 2.3 Modell eines kalten Plasmas; 2.4 Das verallgemeinerte ohmsche Gesetz; 2.5 Kopplung an die Maxwellgleichungen; 3 Modellierung kapazitiv gekoppelter Hochfrequenzentladungen I; 3.1 Skalenanalyse; 3.2 RÃÞumlich aufgelÃœstes Modell; 3.3 Globale Modellierung des Bulks; 3.4 Globale Modellierung der Randschicht; 3.5 Nichtlineares globales Entladungsmodell; 3.6 Resonanzfrequenz des elektrischen Ersatzschaltbildes.
  • 4 Rekonstruktion eines gemessenen Hochfrequenzstroms4.1 Beschreibung des Experiments; 4.2 Modell des Sensors; 4.3 ParameterschÃÞtzung fÃơr das Sensormodell; 4.4 Berechnung der Parameter fÃơr das Entladungsmodell; 4.5 Dynamik der modellierten Zweifrequenzentladung; 4.6 Nichtlineare Analyse der Plasmaserienresonanz; 4.7 Modellbasierte Diagnostik; 5 Modellierung kapazitiv gekoppelter Hochfrequenzentladungen II; 5.1 Nichtlineares globales Entladungsmodell mit Resonanz; 5.2 Nichtlineares globales Entladungsmodell ohne Resonanz; 5.3 Normiertes nichtlineares globales Entladungsmodell.
  • 5.4 Analyse der Dynamik einer Einfrequenzentladung5.5 Analyse der Dynamik einer Zweifrequenzentladung; 6 Heizung kapazitiv gekoppelter Hochfrequenzentladungen; 6.1 EinfÃơhrung in die Nichtlineare Elektronenresonanzheizung; 6.2 Nichtlineare Elektronenresonanzheizung; 7 Nichtlineare Elektronenresonanzheizung und Ausbreitung energetischer Elektronen; 7.1 Erzeugung von Elektronenstrahlen durch modulierte Randschichten; 7.2 Definition der Differenzphase fÃơr Zweifrequenzentladungen; 7.3 Einfluss der Differenzphase auf die Erzeugung von Elektronenstrahlen.
  • 8 Ergebnisse â#x80;#x93; Diskussion, Ideen, Ausblick8.1 Diskussion der Ergebnisse; 8.2 Ideen und Ausblick.

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