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Modellierung und Simulation Nichtlinearer Effekte in Kapazitiv Gekoppelten Hochfrequenzplasmen.
Annotation
| Clasificación: | Libro Electrónico |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Formato: | Electrónico eBook |
| Idioma: | Alemán |
| Publicado: |
Berlin :
Logos Verlag Berlin,
2010.
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| Temas: | |
| Acceso en línea: | Texto completo |
| Sumario: | Annotation |
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| Descripción Física: | 1 online resource (142 pages) |
| ISBN: | 9783832599645 3832599649 |